二手 KLA / TENCOR 5200XP #9236317 待售
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已售出
ID: 9236317
晶圓大小: 6"-8"
Overlay measurement system, 6"-8"
Main system
Configuration:
Fully automated non-contact box-in-box measurement (Stepper alignment)
GEM / SECS: 5.3.26
Indexer: Port open (Type 2)
Console: VAX / XP
Blower box
Backups
Covers
Reflective host chuck
Operations manual included.
KLA/TENCOR 5200XP晶片測試和計量設備設計用於對各種半導體制造工藝的晶片進行精確檢查和測試。此通用系統支持多種應用程序,從2D和3D掃描到掩碼檢查、缺陷跟蹤等等。對於2D掃描和檢查,KLA 5200XP配備了大型高分辨率CCD攝像頭和隨附的全場掃描頭。此高靈敏度成像單元提供卓越的靈敏度和圖像分辨率,能夠檢測極小的缺陷。該平臺支持使用自動對齊旋轉級的3D掃描,允許用戶精確掃描和評估不同厚度和表面地形的晶圓。TENCOR 5200 XP還包括一個高精度的平坦度測試頭,它允許晶圓圖像縫合和自動平坦度檢查。這樣就能夠快速高效地分析晶圓平坦度,快速準確地識別出超出公差的區域。此外,這臺機器還配備了集成激光幹涉儀,能夠為所有類型的晶圓提供晶圓邊緣讀數。此外,5200XP采用先進的KLA技術進行面罩檢查。這允許檢測和跟蹤從掩模設計到制造設備的缺陷。高吞吐量、靈活性和無與倫比的精度使5200 XP成為掩模檢查和缺陷分析的理想工具。這也有助於減少錯誤的產品和客戶回報,最終提高流程效率。總體而言,KLA/TENCOR 5200 XP是為快速準確的晶圓測試和計量而設計的。其全面的成像、3D掃描、平整度測試和掩模對準功能,加上易於使用的界面,確保用戶能夠準確高效地評估其晶片的質量。這使得KLA 5200 XP成為確保卓越半導體制造質量的寶貴工具。
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