二手 KLA / TENCOR 5200XP #9241362 待售
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已售出
ID: 9241362
晶圓大小: 8"
Overlay measurement system, 8", parts machine
Carcass with power supplies
Z-Stage
X / Y Stage without steppers
Encoder
Various other components
No auto-loader
No UI
Arc lamp housing
(3) Missing micrometers.
KLA/TENCOR 5200XP是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在提高半導體制造的產量、降低成本和改進工藝控制。KLA 5200XP結合其軟件包,提供了一系列缺陷分類、晶圓映射和粒子大小的解決方案。TENCOR 5200 XP基於KLA掃描激光成像顯微鏡(SLIM)設計。該系統使用光學激光頭掃描樣品,機械級移動樣品。SLIM由線掃描解決方案和滴掃描解決方案組成,這使KLA 5200 XP能夠為聚焦離子束(FIB)圖像和光學圖像提供最佳解決方案。一組CCD攝像機、圖像處理器和圖像受體都包含在單元中,從而實現了準確的數據采集和分析。5200XP還具有幾種不同的成像模式,如偏振光、透射光、熒光光和傾斜角度成像。這有助於用戶通過提供不同的成像解決方案,更好地了解缺陷分類、晶圓映射和粒子大小。TENCOR 5200XP可以測量高達8.5英寸的晶圓,允許減少循環時間。這臺機器還具有快速的模式識別能力,能夠快速準確地檢測晶圓上的可變缺陷。進一步的自動化過程包括使用嵌入式算法和模式識別軟件進行缺陷分類。這款KLA/TENCOR 5200 XP為用戶提供了用戶友好的數據分析軟件。此外,5200 XP還支持晶圓映射、缺陷排序等各種軟件包。這為用戶提供了對缺陷分類、粒子優化和屈服的更多控制。KLA/TENCOR 5200XP還提供了一個自動化的統計分析工具,幫助用戶改進流程,發現新出現的問題,並找出可能的解決方案。最後,KLA 5200XP支持一種可追蹤性資產,使用戶能夠監控更改及其流程的運行狀況。這一特點對提高工藝穩定性、產量和產品整體質量特別有利。總之,TENCOR 5200 XP是一種綜合的晶圓測試和計量模型.它旨在使用戶在半導體制造中提高產量、降低成本和獲得更好的工藝控制。該設備還具有廣泛的功能,使用戶能夠更好地了解缺陷分類、晶圓映射和粒子大小。
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