二手 KLA / TENCOR 5300 #120993 待售

KLA/TENCOR 5300是一種最先進的晶圓測試和計量設備。它是為先進的缺陷檢測和過程控制而設計的。KLA 5300通過自動光學檢查（AOI）、自動缺陷識別（ADR）和次像素成像系統（SIM）三種獨立技術實現高靈敏度。AOI使用電荷耦合器件（CCD）相機捕捉晶圓的高分辨率圖像。通過板載圖像處理,設備可以實時識別和識別缺陷。該機器能夠檢測亞微米缺陷，並能識別出一系列電氣和光學特性，包括短褲、開口、缺陷、焊橋和對準問題。ADR用於檢測特定類型的缺陷。它對圖像進行深入分析，搜索晶圓區域之間的模式和相關性。這使得它能夠檢測到最小的缺陷。ADR還提供了可追蹤性和可追蹤性分析，允許更大的過程控制和深入的產量分析。SIM技術是TENCOR 5300的核心，使其能夠檢測到納米級結構缺陷。通過創建晶片的高分辨率圖像,它允許工具檢測各種缺陷,包括線寬不匹配、缺少結構和位移。它還可以分析AOI和ADR的結果，並提供晶圓結構的詳細評估。總體而言，5300是晶圓測試和計量的有力工具。它提供了高靈敏度、先進的缺陷檢測以及更全面的過程控制分析。憑借其強大的特性，可以幫助提高產量和生產質量，減少上市時間。