二手 KLA / TENCOR 5300 #9031694 待售

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ID: 9031694
Overlay measurement system Main body unit Operation unit Autoloader unit.
KLA/TENCOR 5300是為成長中的半導體產業而設計的高度先進的自動化晶圓測試和計量設備。該系統為參數化產量測量、快速批次篩選、晶圓驗證和檢驗工作提供了優越的能力。KLA 5300具有極高的生產率和準確性,能夠在生產工作流程中改善工作流程並提高生產產量。該單元配備了先進的光學和X-Y-Z掃描技術,用於快速的樣品處理和快速的測試數據采集。該機以完全的計算機控制操作,以完全自動化的方式優化了易用性和先進的性能。TENCOR 5300提供4軸自動晶片定位、自動對焦、高精度非接觸式配準。此外,它還配備了高度可見的彩色LED顯示屏,為技術人員提供清晰的系統操作可視化效果。5300采用各種復雜的算法來測量、測試和評估復雜的特征。它提供逐行邊緣細節、集成電路轉彎、晶圓常數以及其他類型的晶圓要求。其增強的基於參數的定向工具允許在大面積上精確對齊,而其先進的錯誤檢測算法則有助於識別微小的缺陷。該工具支持最先進的測試晶片,包括定制、金屬氧化物半導體(MOS)、銅和低k材料。它提供了廣泛的應用,從多級電阻率、電氣參數和X射線分析到形狀配準和圖像縫合。KLA/TENCOR 5300具有完全可配置的自動化單元和一系列通信端口,可提供具有全面測試功能的完全集成資產。該模型還支持復雜的晶圓生產力功能,例如遠程訪問、用戶定義的應用程序和快速數據分析。此外,它可以在廣泛的環境條件下運作,從而能夠監測和控制世界各地的生產場地。利用先進的晶圓測試和計量技術,KLA 5300提供了卓越的功能,可簡化操作並提高任何半導體制造環境的產量。
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