二手 KLA / TENCOR 5300 #9047921 待售
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KLA/TENCOR 5300是一種晶圓測試和計量設備,提供深入的數據分析,以確保半導體晶圓符合規格和質量要求。它能夠分析特定參數,如特征大小、缺陷密度、表面粗糙度等特征。KLA 5300使用先進的光學技術生成晶圓的高分辨率圖像,並捕獲數據,然後對其進行分析以檢測缺陷和表面異常。系統的成像功能允許詳細描述設備特性,如線寬、線緣粗糙度以及每個設備上的打開/縮短次數。該設備可幫助晶片制造商在潛在問題變得昂貴之前發現它們。TENCOR 5300可以檢測到裂紋、分層、顆粒汙染、損壞以及其他可能影響器件產量或性能的異常。它還可以識別特征大小過高或過低的區域,這可能會影響設備的可靠性。5300能夠測量低至45納米的特征並執行高達6.25毫米²/秒的測量。它還配備了多種編程選項,允許用戶為特定設備類型設置定量測量標準。此外,該機能夠自我校準,以提高精度和準確性。該工具還與各種過程控制系統和晶圓管理軟件兼容,使集成到客戶系統中變得簡單高效。這允許用戶完全控制晶圓測試過程,實時監控生產數量和質量。KLA/TENCOR 5300的設計考慮到可靠性,旨在承受半導體行業的嚴謹需求。綜上所述,KLA 5300是一種先進的晶圓測試和計量資產,提供了高度的準確性和可靠性。其基於光學的成像技術允許對設備特性進行詳細的表征,最低為45納米,而其編程選項使用戶能夠設定特定的定量測量標準。該模型還非常高效,易於集成到現有的客戶系統中,使其成為半導體晶片生產商的理想選擇。
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