二手 KLA / TENCOR 5300 #9072400 待售

KLA/TENCOR 5300是為半導體和MEMS行業設計的先進晶圓測試和計量設備。它提供了卓越的準確性和數據收集功能,能夠檢測和評估比以往更小的缺陷和結構。該系統采用了統一智能和一系列獨特工具等先進技術。這些幫助識別常規和具有挑戰性的缺陷,例如交叉、斷開連接和間距。該解決方案還為具有挑戰性的結構如線緣粗糙度和衍射光柵提供圖像處理和分析。KLA 5300的性能由其獨特的探測器、組合器和掃描頭啟用。它利用了專有的光學配置、高級光學和軟件控制。這些技術使設備能夠以優異的均勻性生成可重復、可靠的數據。它還提供20nm或更高的增強光學分辨率。機器的自動校準和分析功能有助於提高精度和減少時間。廣域檢查可以更快地檢測細微和較大的缺陷。該工具強大的數據分析算法能夠自動測量線路簽名和缺陷分類。TENCOR 5300還提供多種高級計量解決方案。其中包括線性、均勻性和光刻膠厚度的自動測量。資產的缺陷審查還支持用於產量分析、光刻故障分析和汙染物檢測的自動缺陷分類。該模型的一套計量解決方案使其非常適合監控生產質量。該設備的設計符合業界最高標準的要求。它非常可靠且無維護,並提供強大的特征檢測、擴展的動態範圍和廣泛的視野。5300是可靠晶圓測試和計量的經濟高效、準確的解決方案。適用於廣泛的過程控制和先進的計量應用。