二手 KLA / TENCOR 5300 #9112501 待售

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ID: 9112501
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5300是一種高性能晶圓測試和計量設備,為晶圓生產提供可靠、可重復、準確的測量數據。該系統完全自動化,結合了線性和2D圖像測量以及高級算法,使其成為行業中晶圓測試和計量的最有效解決方案之一。KLA 5300結合了兩種互補技術:光學晶片檢驗和光學晶片計量。光學晶片檢測平臺利用先進的光學和圖像處理算法檢測晶片表面的物理缺陷。該單元可以檢測到廣泛的潛在缺陷,如部分、劃痕和汙染物。這有助於確保過程產量,並產生更可靠、更堅固的產品。光學晶片計量平臺設計用於測量晶片上區域的精確尺寸值,如線寬、深度、圖樣和臨界尺寸(CD)。這是通過集成的高度自動化的機器實現的,該機器包括用於快速和準確測量的高級算法。該工具支持一系列晶圓,從單晶基板到圖案化晶圓。支持多種光學配置,包括顯微鏡、遠心和反視圖系統、分光光度計和激光幹涉儀。該資產還集成了激光束定位、模擬退火、自動對焦等最新機器視覺技術。基於激光的系統可實現高速掃描和更快的整體過程吞吐量,幫助最大限度地減少模型停機時間並提高產量。此外,設備還配備了自動化審計服務,以確保準確性和可靠性,即使在長時間運行之後也是如此。總體而言,TENCOR 5300是一個可靠的晶圓測試和計量系統,旨在產生高質量和可靠的工藝結果。它結合了先進的光學測量技術和強大的計量算法,有助於簡化生產過程,並確保為廣泛的晶圓生產應用提供可靠和準確的數據。
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