二手 KLA / TENCOR 5300 #9190561 待售
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KLA/TENCOR 5300晶片測試計量設備是一種先進的半導體集成電路檢測工具,提供薄晶片層厚度、缺陷和電氣特性的精確測量和分析。此綜合系統具有先進的光學成像功能,可用於晶圓表面的高分辨率檢查和映射,以及自動圖像縫合功能,可對完整的晶圓表面進行無縫檢查。KLA 5300利用缺陷感應和微調聚焦技術,利用實時三維成像快速檢查和表征微觀缺陷。它匯總了關於表面粗糙度、表面缺陷、陣列相關高度信息和橫截面異常的豐富而詳細的數據。作為測量地表地形能力的一部分,該單位以高達每秒320點的速度捕獲數據,以便不間斷地快速測量連續的點。此外,TENCOR 5300還具有計量功能,可提供精確和可重復的電氣測量,包括板材電阻率、板材電阻和板材電容測量。此外,該機還提供獨特的電壓對比度特性,以及用於接觸電阻檢查的兩端開爾文接觸技術。該工具通過一個獨特的直觀和用戶友好的圖形用戶界面進行控制,它為操作員提供了對程序內存、參數和測量工具的輕松訪問。此外,用戶界面可配置為與復雜的統計過程控制軟件應用程序配合使用。5300資產通過其嵌入式傳感器系統為快速收集數據提供了一個用戶友好的環境,該系統可實時查看關鍵電氣參數並捕獲電氣數據。它準確地執行這些檢查,同時防止操作員因符合人體工程學的高級設計標準而疲勞。KLA/TENCOR 5300是半導體晶圓洞察和分析的終極解決方案。其光學和電氣精度的集成是任何其它晶圓測試模型所無法比擬的。歸根結底,該設備旨在為任何集成電路晶片的開發、測試和生產環境提供最大的產量和可靠性。
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