二手 KLA / TENCOR 5300 #9194881 待售

KLA/TENCOR 5300是晶圓測試和計量解決方案中的最新產品。該設備設計用於半導體生產過程中的無損測試,以滿足高級設計中非常小的特征尺寸的需求。采用獨占技術結合無損測量能力和先進的自動化計量，KLA 5300可以快速識別尺寸從3「到8」的任何大小或形狀的晶片中的缺陷，包括單晶、多晶和陶瓷材料。該系統具有機械和光學元件,使其能夠在多個位置上精確測量晶圓的形狀和參考水平。它還配備了綠色激光和4K相機，可以捕獲晶圓上數千個缺陷、粒子和表面異常，操作員無需付出額外的努力。機器人處理程序和高級軟件允許TENCOR 5300檢查比正常大的樣品，包括更大的底物和砷化​​的樣品，同時仍然能夠準確檢測缺陷。5300還提供了一套高級算法,允許自動識別和校正異常。這提供了高度自動化的工作流,可提供一致和準確的缺陷檢查。而且，該單元能夠同時掃描單個晶片的多層，多層掃描功能在沒有任何手動設置的情況下工作。這可以顯著加快缺陷檢測。KLA/TENCOR 5300對小到2 µm的特征尺寸具有計量能力,這對於檢查在先進技術設計中越來越普遍的小的亞微米特征尺寸尤為重要。最後，機器還提供統計過程控制（SPC），一種功能強大的工具，使用戶能夠跟蹤晶圓特性，對可能發生的任何異常都有洞察力，可以用來改善整個過程。總之，KLA 5300是一種終極的高級晶圓計量工具，它既能提供精度和速度，又能準確、高效地檢測數千個缺陷和粒子。它是滿足需要非常小的特征尺寸的高級設計需求的理想解決方案。