二手 KLA / TENCOR 5300 #9197519 待售
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已售出
ID: 9197519
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Overlay measurement system, 8"
Process: PEP
Control console:
Console PC
Monitor
Keyboard and mouse(Track ball)
Video printer
Sub storage device (CD / Floppy / Tape)
Power & signal cables
Handler:
Robot
Power & signal cables
Inspection station:
Mainbody stage
Chuck stage: X, Y
Optic
Power & signal cables
Includes:
LEXMARK Printer
Backup floppy
Spanner
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300是一種功能強大的晶圓測試和計量設備,設計用於晶圓和器件參數的精確測量。這個最先進的系統有助於識別薄膜和晶片上結構的缺陷,以及確定成份、薄膜厚度、臨界尺寸和吸收率等參數的模模變化。該設備以無與倫比的速度和精確度運行,以最小的操作員幹預提供最大吞吐量。利用可編程邏輯控制器(PLC)等最先進的硬件提供探針加載確定性控制、特征識別報告和多任務環境以最大限度地提高效率。獨特的數字CCD成像技術用於精確捕獲和存儲圖像,而功能強大的數字信號處理器可增強圖像對比度,並允許快速準確的測量。KLA 5300是一款用戶友好型機器,可以快速輕松地集成到任何現有設備中。模塊化軟件允許用戶訪問各種功能,以幫助快速輕松地設置和運行測試。該工具還具有豐富的板載內存,允許存儲測試數據和詳細分析。該資產的硬件和軟件旨在確保高性能和精確度。SmartSensors®技術用於準確、精確地檢測模具到模具訂單中的表面變化。該型號可容納各種晶圓尺寸,包括最大200毫米的尺寸。使用觸摸感應控件可確保操作方便。每次測試時,設備還提供實時輸出,並且可以定制以執行具有特定期望結果的特定測試。TENCOR 5300晶圓測試和計量系統是一種功能強大但易於使用的設備,幾乎在任何測試環境中都能提供準確可靠的結果。5300具有高精度性能、低擁有成本和易於使用的控制接口,是工業晶圓測試的理想選擇。
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