二手 KLA / TENCOR 5300 #9205448 待售

KLA/TENCOR 5300是為半導體制造量身定制的先進晶圓測試和測量設備。作為第五代分選器家族的一部分,KLA 5300采用智能算法、精密光學和業界領先的計量技術來支持現場檢測缺陷,並幫助優化性能。TENCOR 5300專為最大吞吐量而設計，支持廣泛的高精度探針卡和硬件組件，以最高的精度和速度水平對晶片和芯片進行檢查、分類和測量。該系統先進的矽顯微鏡提供2D和3D成像，允許檢查表面和內部缺陷。5300的獨特設計可確保缺陷分辨率降至0.7 μ m。數據捕獲和分析也是該單位運作的組成部分。通過結合工程知識和先進的機載分析，KLA/TENCOR 5300能夠準確檢測、分類、測量各種缺陷。特殊功能包括自動測量、自動對齊、高級成像過程以及大量自動數據輸入選項。KLA 5300用於各種生產應用,從成像和測量步高到掃描前瞻性圖像和TEM圖像。還用於線寬測量、工藝評估、表面粗糙度檢測、3D分層、芯片翻轉、靜電放電檢測、設備檢測。為了使性能最大化，TENCOR 5300集成了一系列先進的數據分析工具，包括模模比較、SPC分析、設計規則檢查和芯片到晶圓映射。此外,專有的圖像增強算法可實現更好的缺陷分類。機器上捕獲的所有數據都可以導出為行業標準的文件格式,從而增加了部門之間的協作。總體而言,5300為半導體晶圓測試和計量提供了強大而高效的支持。該工具具有先進的光學和分析、高精度探針卡以及支持操作的自動化功能,可實現快速、精確的缺陷測試和測量。