二手 KLA / TENCOR 5300 #9205449 待售

KLA/TENCOR 5300是一種自動化晶圓測試和計量設備，用於先進的半導體器件開發、制造和維修。該系統采用自動雙面、雙側、垂直運動晶片處理程序,可固定多達150毫米（6英寸）晶片。設計獨特的加速器導軌加快和減慢晶圓處理程序的速度，以便快速對準和精確計量測量和成像。KLA 5300的GigaView9探測器部署了三個精確入射在每個模具位置的高強度激光器來執行高級表面分析。這允許使用無損成像和暗場成像進行實時掃描,並在ProAutofinder的幫助下自動檢測模具、目標位置和要成像的跟蹤路徑。此外,該設備的脈沖模式發生器（PPG）可在各種測量參數上實現量身定制的TFT解決方案,從小型到大型模具。具有數據專家間隔瀏覽器（DEXIE）功能的用戶友好軟件環境簡化了操作,並提供了功能限制和直方圖等統計分析功能。此外，該機還支持晶圓圖分析的多種選擇工具，以確保質量控制。TENCOR 5300具有可靠的晶圓測量和計量性能,是先進晶圓制造和設備開發的高速、經濟高效的解決方案。通過將業界領先的測量性能與直觀的用戶友好軟件相結合,該工具實現了快速可靠的過程控制。憑借資產的廣泛特性和功能,質量控制團隊可以在晶片的生產和維修中獲得精確和可重復的測量結果。