二手 KLA / TENCOR 5300 #9350994 待售

KLA/TENCOR 5300晶片測試計量設備是一種多軸自動掃描系統，可用於測量晶片的幾何特性、照片、薄膜厚度、電性能、薄膜應力、電荷等多種性質。這個單元設計有一套自動化工具和軟件，可以測量、定位和量化晶圓缺陷。這些功能中的每一個都被設計成在6英寸到300毫米晶圓的各種基板上運行。KLA 5300包括一個高速、基於激光的掃描頭，具有獲得專利的光束切換能力，允許在掃描時在不同的激光波長之間快速切換。這種獨特的設計可以同時精確測量樣品的表面特性、性能和均勻性。該機還包括光伏成像裝置，使用單色照相機捕捉物理缺陷、溝槽和生產材料不均勻的圖像，而板載表面計量工具則測量薄膜厚度和薄膜應力、移動性等特性。TENCOR 5300配備了直觀的用戶界面和軟件控制的儀器，簡化了設置和操作。該工具顯示圖像的3D顯示,操作員可以使用它快速定位和測量示例中的缺陷。該資產設計為用戶友好，可輕松配置和編程，以滿足用戶的個人需求。5300采用最可靠和最現代的技術制造,具有高度耐用和可靠的物理外殼。它還具有用於樣本跟蹤、可追蹤性、可重復性和可重復性的自動化模型。這樣可以確保每個測量在大量樣品上都是準確和可重復的。KLA/TENCOR 5300在測量過程中提供了前所未有的靈活性和精確度,並通過最新技術不斷改進和更新。其最新的升級包括測溫測壓能力、高速、面積較大的樣品以及薄膜測量。這些特性使得KLA 5300成為晶圓測試和計量的理想選擇。