二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #194942 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是半導體工業中使用的晶圓測試和計量設備。該系統擅長檢測晶片上的表面和界面缺陷，並提供強大的統計數據分析，使設備工程師能夠準確確定性能特性。KLA 5500 Surfscan單元用於晶圓制造過程中的廣泛應用,包括質量保證、產量改進、工藝表征、故障分析和根本原因分析。該機器在各種晶圓尺寸和應用中提供高性能,以確保最大限度地控制質量。TENCOR 5500 Surfscan工具使制造商能夠快速檢測晶圓上的表面和接口缺陷,否則會影響最終設備的質量。它具有掃描白光幹涉測量（SWLI）、多角收斂束電子衍射（MACE）和掃描電子顯微鏡（SEM）三項主要技術,使其能夠實現快速、準確的測試。SWLI通過檢測甚至最小的表面和界面形狀細微變化來提供快速和高度敏感的晶圓表面計量。MACE有助於減少錯誤缺陷檢測,可用於表征各種技術的界面特性。最後，SEM提供了結構缺陷的自動檢測，如摻雜劑覆蓋率差或接觸形成差。5500 Surfscan資產還提供了許多高級功能,可幫助工程師避免錯誤拒絕並準確確定性能特性。這些包括統計數據分析、可定制的過程和實時缺陷檢測。這些特性使得快速檢測和診斷缺陷變得容易，從而使制造商不會浪費資源重制相同種類的缺陷晶片。總體而言,KLA/TENCOR 5500 Surfscan是現代半導體制造中的一個非常寶貴的工具。它將一系列先進技術完美地融合到一個全面的晶圓測試和計量模型中,以最大限度地提高效率並幫助設備工程師準確確定性能特性和檢測危險缺陷。