二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293594917 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一種最先進的晶片測試和計量設備，旨在檢測和評估半導體晶片制造中的關鍵缺陷。該系統能夠檢測和測量各種缺陷,包括凹坑、裂縫、晶界、薄膜和殘留物、晶圓厚度不均勻、彎曲或彎曲、顆粒汙染和電阻率不均勻。此外,KLA 5500 Surfscan的先進技術支持電氣測試和圖稿檢查,以實現更快、更準確的缺陷檢測。TENCOR 5500 Surfscan專為提高工作效率而設計,采用快速直觀的自動測量流程,可實現可重復的精度和精確的控制。該單元配備了數百個傳感器和掃描階段，以精確測量尺寸，以及識別缺陷並進行分類的高分辨率成像和數據分析算法。內置軟件可自動對準晶片並測量缺陷位置,從而能夠快速篩選每小時多達160個晶片。該機器還具有可選的高級輪廓輪廓測量系統,可增強其缺陷檢測功能,從而能夠高效、精確地測量曲面輪廓粗糙度和其他物理特征,包括輪廓幾何形狀、臺階高度以及超角度和下角度。5500 Surfscan提供多種成像模式,包括亮場、暗場和差分成像,以幫助確定缺陷大小、密度和方向。KLA/TENCOR 5500 Surfscan的硬件配置性強，擁有多個攝像頭和鏡頭，可以配置為從不同角度捕捉圖像。該工具配備了多種照明源，包括LED和汞弧燈，並配有外部濾波器立方體和光譜儀、微型規格系統、數字化模塊等多種配件。加熱階段使用戶能夠在高溫環境中分析樣品。此外，KLA 5500 Surfscan兼容一套高級軟件程序，以最大限度地提高其準確性和效率。其中包括Dynamic Analysis Software、Flowvision軟件和Curv-x軟件,能夠全面分析和報告曲面特征、剖面分析和缺陷大小。這樣可以及時反饋過程控制和監控,幫助確保無缺陷的生產,並縮短周轉時間。