二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293616224 待售
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KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一款最先進的晶圓測試和計量設備。它旨在滿足半導體行業的缺陷審查、缺陷檢測和檢測需求。該系統為粒子檢查、表面成像和地形以及模具間和層間缺陷研究提供了全面可靠的結果，從而能夠在晶圓級進行透徹的分析。KLA 5500 Surfscan擁有1.4 Gigapixels、1.3百萬像素CMOS成像探測器，分辨率為12 μ m。這樣可以精確地成像晶圓表面的所有顆粒、缺陷和其他特征。成像裝置位於集成的機動化晶片級內，該級具有較高的位置精度，能夠精確地繪制顆粒和缺陷圖，並對缺陷位置進行受控掃描/成像/測量。此外，該機還具有內置激光幹涉儀，可確保晶圓的精確探測和掃描，以及缺陷位置的精確矩陣表示。Surfscan 5500能夠同時進行2D和3D成像,從而能夠精確地表征表面地形。這是使用工具的高級算法來完成的，該算法提供高分辨率的結果和精確的測量。該軟件還包括自動化的統計分析和繪圖工具,以便於比較來自不同地點以及來自不同站點或制造商的結果。該軟件還可以方便地存儲數據和查看晶圓的視覺質量。總體而言，TENCOR 5500 Surfscan資產是半導體制造商不可或缺的工具，為粒子檢測、表面成像和地形以及模間和層間缺陷研究提供精確可靠的結果。憑借其高分辨率成像和自動化分析工具,該模型能夠促進快速、準確的質量審查,是任何晶圓制造設施的絕佳補充。
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