二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293795821 待售
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KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,半導體行業用來提供集成電路物理和電氣特性的高精度數據。該系統旨在精確測量表面特征,如針紋缺陷、表面空隙和可打印性。KLA 5500 Surfscan提供了幾個關鍵的分析功能。首先,它的微分辨率光學空中成像和掃描單元提供高精度測量,分辨率為0.05微米,可重復性為0.15微米。其次,其晶圓探針提供了一種具有自動晶圓對準功能的閉環計量機。第三,TENCOR 5500 Surfscan配備了雙面升降料鬥,通過緩沖多個晶片來增加自動循環時間。最後,該工具的用戶友好軟件界面允許用戶輕松定制多個測試、查看測試結果和查看報告。5500 Surfscan支持廣泛的分析和處理選項,包括缺陷隔離和分析、分層缺陷分析、微空隙分析和針型缺陷分析。此外,該資產還提供高級軟件選項,如Metrix數據分析、Edge檢測和結束節點檢查。KLA/TENCOR 5500 Surfscan采用模塊化體系結構進行設計,從而可以輕松、經濟高效地將模型集成到現有設備或外部計算機中,以用於遠程監控、控制和數據管理。該系統還可以進行修改和配置,以滿足各種行業要求,使其適合廣泛的生產環境。此外,該單元的設計具有緊湊的占地面積,使其能夠安裝在占地面積較小的潔凈室中。此外,KLA 5500 Surfscan與各種晶片兼容,物理尺寸從1到8英寸不等。最後,該機器有一個全面的服務和支持網絡作為後盾,確保用戶能夠訪問最新的技術和更新。總體而言,TENCOR 5500 Surfscan為晶圓測試和計量提供了一種創新而可靠的工具,它提供了具有快速測試周期的高精度數據。憑借其模塊化體系結構和廣泛的分析功能,此資產適用於各種生產環境。
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