二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293815231 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是為半導體工業設計的晶圓測試和計量設備。該系統高度可靠，能夠自動測量半導體晶片上的許多參數。它包括一個晶圓測試平臺、晶圓處理機器人技術以及一套自動化的數據收集、分析和報告工具。KLA 5500 Surfscan的平臺使用激光幹涉儀測量晶圓的尺寸特性如厚度、平坦度和平坦度變化。使用二極管激光單元測量晶片的表面地形，包括缺陷、粗糙度和步進高度。可編程探頭用於測量電接觸電阻、表面電位和模式識別。晶圓測試平臺還包括一臺用於離線缺陷檢測和評審的成像機。TENCOR 5500 Surfscan工具上的晶圓處理機器人技術允許晶圓的加載和卸載以及測量點的對齊。機器人設計用於處理各種尺寸的晶片，同時保持精度和速度。5500 Surfscan資產的自動化數據收集和分析功能為整個晶圓測試和計量過程提供實時反饋和數據處理。這些數據可以在內部進行分析或導出以進行進一步分析。晶圓測試結果的報告是全自動的,而且很容易獲得.KLA/TENCOR 5500 Surfscan為晶圓測試和計量提供卓越的性能和功能。該模型堅固、可靠且精確,允許快速周轉時間和改進的過程控制。該設備易於升級，可用於大多數環境，是半導體晶圓測試的絕佳選擇。