二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9003849 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一種自動化晶圓測試和計量設備，工業用於測量晶圓基板的物理完整性。該系統使用先進的光學傳感技術在設備表面獲取微米級臨界尺寸。KLA 5500 Surfscan以非接觸且無侵入的方式提供亞微米測量，創建晶圓表面的虛擬圖像，可用於評估晶圓表面地形的均勻性。TENCOR 5500 Surfscan非常精確,提供小於5納米（nm）線性精度和1 nm垂直精度,同時提供4.5 mm最小特征尺寸的有效測量。5500 Surfscan通過將3.5英寸標稱全尺寸晶片掃描成數字形式來捕獲3 D地形信息。它使用由雙鏡頭光學感應頭和CCD線性照相機組成的5500線性成像單元（LIS）進行此操作。隨著LIS獲取數據，二維圖像被轉換為三維。然後使用KLA/TENCOR 5500 Surfscan的在線程序員（OTP）或自動缺陷審查機（ADRS）處理、歸檔和檢查數據。軌道程序員（On-Track Programmer，簡稱OTP）是一個獨立的圖形用戶界面（GUI），使晶圓測量過程自動化。輸入OTP的數據包括晶圓大小、零件編號、鏡頭大小圖像數、掃描範圍、線速和特征大小。由此，OTP創建了一個數據采集計劃，一系列可以完美覆蓋晶圓表面的數據掃描。它還創建了晶圓上的缺陷圖，以便進一步分析。然後將收集的數據匯編並存儲在OTP的數據庫中,以便進行連續監測和測量後分析。自動缺陷審閱工具（Automatic Defect Review Tool，ADRS）是一個軟件包，允許操作員審閱在軌程序員收集的數據。它利用高級算法和軟件工具的組合來比較晶圓的前後圖像。如果檢測到兩個圖像之間存在任何差異,ADRS將自動標記區域以進行手動檢查。KLA 5500 Surfscan是確保晶片基板質量的強大工具。它提供了一種非接觸、非侵入性的方法，快速準確地測量垂直精度高達1 nm的臨界晶片尺寸。軌道程序員創建數據采集計劃並存儲數據以進行進一步分析,而自動缺陷審查資產為缺陷檢查提供了一個易於使用的界面。總體而言,TENCOR 5500 Surfscan是一種非常可靠的晶圓測試和計量模型,可提供出色的結果。