二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9216063 待售

ID: 9216063
Inspection system Locater blocks for wafers: 4" to 6", 8" Upgraded with LCD screen instead of CRT HeNe Laser.
KLA/TENCOR 5500 Surfscan是業界領先的自動化晶圓測試和計量設備。它旨在對半導體晶片進行高精度的光學檢查和地形測量。這些工具為在線和離線缺陷檢測和屈服分析提供了多直徑、高清晰度、可重復的測量功能。KLA 5500 Surfscan具有多傳感器系統,可以從單個測試運行中收集各種數據。這包括晶圓的光學圖像、階梯高度和平坦度、輪廓、SEM橫截面圖像、特征識別和對齊以及叠加等地形測量。TENCOR 5500 Surfscan還使用新穎的浮動光學運動控制來確保晶圓周圍的全範圍運動以及一個高分辨率的映射單元來捕獲整個晶圓上的數據點。該機器還包括缺陷審查功能和自動缺陷檢測算法,以快速識別晶圓上的問題特征。它采用自動缺陷跟蹤、分析和報告工具來識別與流程相關的缺陷,並支持多種語言,使客戶能夠以自己的語言與資產進行交互。KLA還提供全系列的檢查標準、數據收集硬件和軟件以及第三方校準服務,以確保準確的數據收集和分析。5500 Surfscan憑借其強大的設計和提供可靠、可重復測量的能力,已成為業界的熱門選擇。高分辨率映射模型、捕獲各種數據的能力以及自動缺陷審查功能使其成為晶圓計量應用程序的理想解決方案。KLA/TENCOR 5500 Surfscan憑借其強大的軟件、自動化制造和集成的報告功能,為全球半導體制造商提供了全面的晶圓測試解決方案。
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