二手 KLA / TENCOR 587 #9399578 待售

KLA/TENCOR 587是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體器件測試和故障診斷。它利用圖像采集和圖像分析技術來測量各種設備參數，如線寬、整體表面特性、缺陷位置和尺寸以及電氣參數。KLA 587非常適合晶片裝箱、工藝控制和提高產量等應用。該系統提供了多種圖像分析功能,包括粒子測量、臨界尺寸測量（CD）、叠加對齊和直線節點以及通過測量。TENCOR 587結合了先進的圖像采集和分析技術以及強大的數據管理和報告功能,以提供可靠和準確的結果。該單元可以測量多種特征,包括最小線寬、線節點、vias、異常、模式、缺陷、光阻異常和設備參數。機器還可以處理各種晶圓基板，支持大多數行業標準的晶圓廠工藝，並提供廣泛的分析和報告能力。值得註意的功能包括大型高分辨率多級CCD成像工具、用於廣域分析的大視場以及高速雙通道圖像采集資產。587還提供了先進的缺陷分類和分類功能,使其能夠檢測和捕獲單個圖像中的多個斑點、凹坑、劃痕和其他缺陷。該模型強大的數據收集和管理設備使其能夠快速高效地存儲和處理大量數據。KLA/TENCOR 587是一款用途廣泛、功能強大的系統,旨在滿足當今最先進的半導體制造商的需求。KLA 587具有強大的圖像采集和分析功能、廣泛的數據處理和存儲容量以及全面的報告功能,是滿足晶圓箱和過程控制需求的理想解決方案。