二手 KLA / TENCOR 6000 Series Surfscan #9188561 待售

KLA / TENCOR 6000 Series Surfscan
ID: 9188561
晶圓大小: 4"-8"
Non-patterned surface inspection system, 4"-8".
KLA/TENCOR 6000系列Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,設計用於在微觀層面監控晶圓質量,確保最高生產標準。該系統由四個主要組成部分組成:一個綜合計量平臺、一套精密測量工具、自動缺陷審查軟件和一個綜合缺陷數據庫。集成計量平臺是一個多傳感器單元,使用戶能夠使用光學和電氣技術查看、測量和表征單面和雙面晶片。精密測量工具允許識別晶圓質量和不同類型電路之間可檢測到的缺陷深度的變化。自動缺陷審查軟件突出顯示晶片上的潛在缺陷及其在單個圖像中的位置,從而快速準確地識別當前的潛在問題。最後,綜合缺陷數據庫記錄缺陷隨時間推移的測量,使用戶能夠對數據進行統計分析,進一步了解缺陷的性質。KLA 6000系列Surfscan專為廣泛的應用而設計,包括晶圓檢查、設備尺寸的確定和表面質量。每臺機器都能夠測量各種項目,如厚度、尺寸、微觀結構和光學特性,允許用戶確定各種缺陷類型。此外,該工具還設計了一個用戶友好的圖形界面,允許用戶快速分析晶片,並使用顏色編碼表示查看結果。此外,自動化配方方法可確保資產易於設置和使用,同時提供最大效率和準確性。綜上所述,TENCOR 6000系列沖浪掃描是一種有效的晶圓測試和計量模型,旨在最大限度地提高生產精度和質量。憑借其全面的全傳感器平臺、精確的測量工具、自動缺陷審查軟件和缺陷數據庫,設備為用戶確保晶圓生產的最高質量標準提供了便利。
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