二手 KLA / TENCOR 6100 #293827879 待售

KLA/TENCOR 6100是一種晶圓測試和計量系統，用於半導體織物測量和檢查重要的器件參數。它使晶片制造商能夠以最大的產量提供優質的晶片。KLA 6100使用模與數據庫圖像關聯技術和高分辨率彩色CCD攝像頭,並結合了快速、高效和精確的自動對焦功能。通過這種技術組合,可以幫助檢測缺陷並更準確地驗證過程完整性。TENCOR 6100能夠以高達3.75微米的分辨率測量3 D地形數據，分辨率為0.9微米。這樣就可以更好地了解晶圓上的斜率、水平和微特征。使用Auto-Focus系統,6100能夠檢測這些3D地形參數隨時間的變化,以確保過程完整性得到維護。KLA/TENCOR 6100還具有一系列內置的計量工具，包括光學和散射測量系統、激光幹涉測量系統以及信號/噪聲測量。它提供了一系列技術,例如Edge Plunge和Focus/Depth of Field,以確定模具完整性並檢查不同的設備參數。它還配備了高級成像工具,如實時基於顏色的缺陷檢測（CBDF）和實時臨界尺寸和叠加（CDO）工具,從而最大限度地減少了最終圖像所需的後處理量。KLA 6100提供高級數據處理功能,允許用戶管理多個晶圓映射和參數。通過將目標數據和來自各種測量的實時圖像相結合,可以創建設備性能和設備驗證的全面報告。TENCOR 6100是晶圓制造商尋求優化工藝和驗證器件參數的有效、可靠的解決方案。由於其廣泛的計量、成像和數據分析工具，它確保了晶圓測試和計量的準確性和效率。