二手 KLA / TENCOR 6100 #9226702 待售

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KLA / TENCOR 6100
已售出
ID: 9226702
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Particle inspection system, 6" 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6100是一種晶圓測試和計量設備,為半導體制造提供基於模型的計量服務。該系統使客戶能夠準確評估集成電路(ICs)和其他設備的特性,使制造商能夠測量小至幾納米的單個特性。KLA 6100型號配備了Contour- MPX TM叠加模塊,為交叉晶片叠加提供高達3nm的高精度對齊性能。該單元還包括用於精確晶圓測量、設計和對準的Die-AlignerTM掃描機。TENCOR 6100還擁有一個高分辨率的公差測量包,可以檢測和測量設備或整個晶圓中的非常小的缺陷。6100可用於高精度分析晶體管和晶圓特性,兩個平面掃描均具有100 nm分辨率。它將自動化和基於模型的計量相結合,可幫助您實現可重復和可靠的過程。此外,KLA/TENCOR 6100還配備了Advanced Particle Analysis™包,可用於識別和測量各種材料中的顆粒、汙染物和缺陷。該工具還能夠分析晶圓形狀或地形,提供表面平面度、輪廓粗糙度和均勻度的測量。KLA 6100機型還擁有Advanced Optical Overlay軟件包,它使您能夠獲得更好的控制和精度,用於晶圓模具放置以及高級光學Overlay計量。該資產還非常適合半導體制造過程,它能夠檢測制造過程中肉眼看不到的缺陷。總體而言,TENCOR 6100車型是尋找可靠、精確計量設備的廠商的絕佳選擇。憑借其耐用的硬件和先進的功能,它為客戶提供了滿足其晶圓測試和計量需求的有效解決方案。
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