二手 KLA / TENCOR 6100 #9250107 待售

KLA/TENCOR 6100晶圓測試和計量設備是一種全自動晶圓檢驗工具，旨在簡化晶圓制造工藝，最大限度地提高產量。它由幾個組件組成，包括一個自動晶圓殼體站、一個舞臺掃描儀系統以及多個自動計量模塊。自動晶片外殼站包括一個可以容納多達66個8英寸晶片的批量裝載旋轉木馬。這樣可以確保設備能夠順利高效地工作,而無需技術人員的不斷手動出勤。舞臺掃描儀是機動化的平臺，旨在移動晶片並將其傳送到正確的計量模塊。它由用於平滑運動的精確燕尾導軌和兩個用於快速移動到定義位置的旋轉編碼器組成。它還可以檢測高達10微米的高度差，允許精確測量。計量模塊允許快速準確地測量晶圓的臨界參數，例如厚度。該工具使用幹涉儀以單波長或多波長模式測量厚度。它還使用光譜橢圓偏振法來測量薄膜厚度、表面粗糙度和光學常數。其他功能包括舞臺校準和使用數碼相機的視覺支持。KLA 6100是設備制造商尋求提高晶圓產量和最大化輸出的重要工具。它是一種快速、可靠和準確的資產,可確保以最短的時間和精力實現高質量和高精度。TENCOR 6100具有精確的計量能力和自動晶圓處理功能,非常適合廣泛的晶圓處理應用。