二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293776296 待售

KLA/TENCOR SFS 6200是一種晶圓測試和計量設備，被半導體制造商用來測量矽晶圓上集成電路的選定參數。該系統結合了高度精確的晶圓測試能力和用於高分辨率表面成像的聚焦離子束（FIB）單元以及用於樣品制備和分析的電子束。該機器包括一個先進的模式識別環境，用於將模具級數據與晶圓表面上的特征關聯。為了進行測試，KLA SFS 6200采用了電氣和光學兩種方法。電氣測試是向設備提供電刺激，然後測量反應並利用其識別缺陷的過程。光學測試使用掃描電子顯微鏡對晶圓表面成像。通過比較晶片之間的測量,工程師能夠檢測到諸如邊緣輪廓、叠加對齊、臨界尺寸線性和屈服等參數的差異。此外,該工具能夠識別這些測量中的缺陷和偏差,並向用戶發出警報。TENCOR SFS6200的FIB部分包含三個腔室，允許用戶進行體積範圍、表面成像和特定地點的樣品制備。該資產配備了高真空柱、高精度和動態水平控制，以及高分辨率成像，以確保所產生的圖像具有盡可能高的質量。FIB室還包含一個幾何和應力模塊，用於測量樣品的局部熱膨脹系數和表面分層。SFS 6200的電子束截面允許通過濺射塗層制備樣品，並提供高分辨率成像。模型的電子束能夠比FIB更深入地滲透到材料中，並允許用戶檢測樣品上的地下缺陷。這樣可以更深入地了解正在調查的設備或過程。除了晶圓測試和計量之外，KLA/TENCOR SFS6200還可以用於缺陷審查、故障分析和產品工程。該設備的高通量和堅固的設計使其成為需要及時進行準確測試和結果的半導體制造商的理想選擇。