二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293822311 待售

KLA/TENCOR SFS 6200晶圓測試和計量設備是一種前沿的高速設備解決方案,旨在實現可靠的過程控制和設備優化。該系統將先進的光學計量技術與機器人、數據驅動的自動化相結合，以實現高通量、晶圓特性和設備結構的快速測量。通過自動實施關鍵測量,KLA SFS 6200單元縮短了周期時間並提高了晶圓吞吐量。該機配備了多個傳感器，包括精確校準的光學成像、光學聚焦和光譜分析儀，以及基於探針的電氣檢測系統。這些先進的計量技術能夠實現非接觸式光學成像和測量設備特性，如光刻和閘門，以及熱和電特性。工具的核心是機械臂。這一功能加上先進的計算機控制分配器，可實現高通量晶片加載和檢查。運動控制器用於根據需要在每個晶片位置精確定位和聚焦光學器件和探測器。光學器件相對於晶片的最佳對齊方式可確保對所有晶片進行精確、可重復的測量。該資產還包括允許用戶設置配方和自定義測量參數的軟件,並能夠存儲結果以供將來使用。為了確保精確和精確的測量,TENCOR SFS6200模型配備了精密級技術,包括可選的PiezoZ掃描儀。這確保了測量過程中探測器的精確和可重復定位。此外,它還具有一個集成的流程界面,允許用戶使用遙控器操作設備。該系統旨在通過實時可見性優化傳入晶圓測量的產量,提供晶圓幾何、計量結果和工藝體系參數的完整視圖。此外,該單元還具有一個可簡化數據收集、分析和審閱的直觀用戶界面。總之，KLA SFS6200晶片測試和計量機是一種先進的設備解決方案，為用戶提供先進的計量技術、精確的階段控制和高通量自動化。該工具具有多種傳感器、先進的計算機控制分配器和直觀的用戶界面，為過程控制和優化提供了可靠和可重復的晶圓測量。