二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293831075 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是晶圓測試和計量的最先進的設備。利用先進技術，以亞微米精度和可重復性測量半導體晶片的表面和地下特性。該系統配備了可變壓力接觸傳感器、多元件光學校準和表面缺陷檢測技術。它可以配置一個附加的光電探測器來執行粒子掃描。KLA 6200 Surfscan采用高分辨率、三軸級技術,為表面計量應用提供了一個通用平臺。該平臺的舞臺有效載荷容量超出了對不同材料和幾何形狀的設備的一致結果的預期。該單元的掃描範圍為450mm x 450mm，並提供了大量可定制的參數來實現特定的結果，例如測量的深度和強度。TENCOR 6200 Surfscan基於先進的光學成像技術，具有遠心照明光學透鏡和變壓光接觸傳感器。可變壓力光接觸傳感器可提供跨不同材料屬性和結構幾何形狀的一致測量,並且可以編程為測量到亞微米分辨率級別的各種參數。先進的光學成像機由多個透鏡和高分辨率傳感器組成，允許以出色的分辨率和可重復性進行測量。6200 Surfscan具有晶圓處理機制,能夠容納各種晶圓尺寸和材料。樣品處理機制還包括自動進紙器和幹燥工具。自動進料器結合先進的缺陷檢測資產，能夠準確檢查和識別半導體器件中常見的特征，如粒子、凹坑和其他缺陷。KLA致力於確保PROMETRIX 6200 Surfscan能夠滿足最嚴格的工業生產環境的需求。該模型經過廣泛的可靠性和性能測試，支持半導體工業的過程開發和操作。此外,TENCOR還提供現場客戶服務團隊,在部署、培訓和問題診斷方面提供支持。