二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #9303158 待售
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ID: 9303158
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 1995
Non-pattern surface inspection system, 4"-8"
PSL Calibration
Defect sensitivity: 0.1 Micron (PSL STD)
Haze sensitivity: 0.02 PPM
Haze resolution: 0.002 PPM
Accuracy within 1%
XY Coordinates
Lock down accessories
Blower assembly
Ar-Laser: 30mW
Power supply: 208V, 60Hz, 17A
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種精密的晶圓測試和計量設備,專為各種研究和生產應用而設計。它提供了無與倫比的精度和可重復的結果,使用戶能夠以無與倫比的精度測量晶圓表面上特征的大小、形狀和深度。該系統采用創新的雙束激光幹涉儀,提供納米級分辨率的電光測量。它能夠測量礦坑、顛簸、劃痕、腐蝕、臺階、毛刺等納米級細節方面的不規則性。該單元提供自動通過/失敗評估功能,可在毫秒內確定晶片曲面上特征的深度、大小和形狀,從而實現高效的工作流和節省時間的結果。KLA 6200 Surfscan專為高速操作而設計,能夠在幾秒鐘內進行全晶圓掃描。它配備了廣泛的硬件和軟件工具,這些工具旨在使用戶能夠快速分析其數據。該機器包括主機PC、基於VME的控制器板和Surfscan 5200溫控晶圓檢測室。它還包括高級成像和分析算法,旨在以最少的手動輸入提供準確的結果。TENCOR 6200 Surfscan還具有自動掃描功能,可快速掃描大區域。它還提供了廣泛的圖像和數據分析功能,方便用戶實時查看和分析信息。該工具與許多行業標準CAD系統和計量軟件包兼容,這些軟件包允許將數據和結果輕松集成到現有產品和服務中。PROMETRIX 6200 Surfscan被譽為當今市場上領先的晶圓測試和計量系統之一。它結合了速度、準確性和可重復性,使其成為各種研究和生產應用的理想資產。憑借其先進的硬件和軟件功能,它能夠以最少的手動輸入提供精確可靠的結果。這使得6200 Surfscan成為晶圓檢查的首要選擇。
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