二手 KLA / TENCOR 6200 #293610590 待售

KLA/TENCOR 6200是為半導體工業設計的先進晶圓測試和計量設備。它提供自動化的臨界尺寸測量和光學檢查,具有無與倫比的準確性和可重復性.KLA 6200利用先進的光學技術，包括配備全自動XYZ線性驅動器的高精度幹涉顯微鏡。此驅動器可精確測量坐標、特征高度、叠加和關鍵尺寸。該系統還包括高功率激光光源和高分辨率垂直和橫向掃描。這種特性的組合允許對半導體結構進行極精確的測量和定量分析。TENCOR 6200還配備了提供自動缺陷檢測和分類的高級智能包。這項功能強大的技術可以準確識別不對稱、幾何不規則、高度過高等常見缺陷的實例。6200還具有一套晶圓測試功能。它提供了一系列的自動化測試方法，包括在線4點探針、CDC（依賴芯片的表征）和SOT（測試掃描）。該設備提供快速、準確的設備特性測量,具有最高的可重復性和靈敏度。此外，KLA/TENCOR 6200提供增強的晶圓檢測能力。它提供了半導體缺陷的自動表征，包括具有缺陷分類的模具缺陷審查、微觀缺陷檢測、模式配準分析和自動平場聚焦。總之，KLA 6200是一種先進的半導體計量和晶圓測試機器。它提供了增強的光學技術和自動化智能功能,包括精確測量、自動缺陷識別以及一系列晶圓測試功能。該工具為半導體制造商提供了可靠、經濟高效的質量保證和工藝控制解決方案。