二手 KLA / TENCOR 6200 #293656105 待售

KLA/TENCOR 6200是最先進的晶圓測試和計量設備,提供高精度的無損3 D映射功能。其先進的雙級光學傳感器具有獨立於校準的光學系統，最小像素間距為0.3 µm，非常適合定量識別極小的特征尺寸，例如半導體晶片中的特征尺寸。該系統集成的雙級照明單元和近紅外（NIR）傳感器使多層數據可以在單個測量中收集。為了進行質量控制和過程優化,KLA 6200提供了快速、準確的無損、非接觸式3 D測量功能。這臺機器能夠用多達16級的細節測量晶片表面的每一個特征，提供快速準確的結果。TENCOR 6200還提供自動表面清潔和幹式掃描,而自動圖像處理功能進一步簡化了檢查過程,減少了手動幹預的需要。收集到的所有數據都存儲起來供將來使用，從而能夠快速召回已處理和未處理的數據。此外，6200具有0.5µm的精確橫向分辨率和70nm的最大高度靈敏度。這樣可以測量最厚的基板,包括3mm,同時保持5nm或更高的精度。它的寬動態範圍從0.005延伸到1000 µm，使得它非常適合分析復雜的表面形狀和輪廓。KLA/TENCOR 6200的用戶友好圖形用戶界面（GUI）使得即使是最復雜的晶圓檢測協議也能輕松設置、學習和運行。此工具的內置分析工具支持模式識別、缺陷跟蹤和數據點探測,使其成為晶圓級測試和計量的理想選擇。總之,KLA 6200是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量資產,可提供快速、準確的無損3 D測量功能。其自動化的表面清洗和幹式掃描，精確的橫向分辨率，以及廣泛的動態範圍使得它非常適合分析復雜的表面形狀和輪廓。此外，其人性化的GUI簡化了該模型的設置和操作，使其成為晶圓級測試和計量的理想選擇。