二手 KLA / TENCOR 6200 #64476 待售

KLA/TENCOR 6200是一種晶圓測試和計量設備，旨在提供快速的過程監控和快速的數據分析。KLA 6200是一個自動化系統,能夠測量晶片的表面和厚度特性、處理大量數據、識別異常以及對多個樣本進行分類和跟蹤。該單元有一個晶圓支持平臺，即盒式磁帶和裝載機，其中晶圓被裝卸。TENCOR 6200配備了包括白光幹涉儀（SLIM）、散射法、光學反射法、散射光度法和3D表面剖面儀在內的多種計量工具。SLIM通過大氣加壓來降低晶圓表面大氣汙染的風險。此外，6200可以同時執行非接觸和接觸計量。對於數據分析和狀態監控，KLA/TENCOR 6200與KLA IntelliWafers軟件集成。IntelliWafers是一套集成軟件應用程序,旨在準備、分析和報告晶圓檢測數據。它提供了一整套功能，包括對工藝晶片進行自動統計分析的能力，以及實時的工藝監控。IntelliWafers可以生成報告和數據圖,從而深入了解關鍵流程指標以及流程變化和異常的趨勢。吞吐量方面，KLA 6200每小時最多可測試300件。它還可以很容易地集成到各種其他系統中,包括在線和離線系統。此外，它可以配置為滿足各種應用的需求，包括測試高長寬比晶片。綜上所述，TENCOR 6200是一款高效的晶圓測試計量機，能夠提供快速的過程監控、快速的數據分析和全面的報告。其廣泛的特性使其適合各種應用，高速吞吐量使其能夠快速處理大量數據。最後,該工具與IntelliWafers軟件集成,可確保自動統計分析、實時過程監控和全面數據分析。