二手 KLA / TENCOR 6210 Surfscan #9412434 待售

KLA/TENCOR 6210 Surfscan機是一種用於半導體工業的高端晶圓測試和計量設備。該系統允許精確測量晶片上的關鍵工藝細節，如微米範圍內的曲面均勻性和幾何參數。即使在設備制造的早期階段，它也能夠獲得關於這些參數的準確數據，以確保工藝速度和保真度。KLA 6210 Surfscan使用基於高分辨率三角測量的光學計量技術,以極高的精度測量跨晶圓和模內性能。該設備專為非接觸、高吞吐量、可重復和可靠的操作而設計。由於機器的橫向掃描能力以及高保真相機、光學和照明系統，確保了機器產生的讀數的準確性。此外，機器提供了靈活性，可以在沒有用戶幹預的情況下輕松執行各種計量測量。為了保證最高精度的測量，TENCOR 6210 Surfscan采用激光幹涉測量工具設計。這項資產能夠測量晶圓表面小到0.1納米的非常小的變化。掃描速度也是可調的，可以在0.25到7毫米/秒之間變化，同時保持極好的精度。這使得測量快速移動的晶圓表面更加方便。該模型收集的數據用於各種半導體工藝的表征和優化以及自動缺陷分類。設備的讀數還可以進行故障分析,這有助於改善工藝流程並降低成本。6210 Surfscan還設計為便於連接,允許與其他系統集成,以便於處理數據。機器還具有用戶友好的軟件界面，提供直觀的工作流程。總之，KLA/TENCOR 6210 Surfscan晶片測試和計量系統是一個強大的工具，即使在設備制造的早期階段，也能準確可靠地測量晶片表面。該機器還包括一個激光幹涉測量單元，可以精確測量晶圓表面的很小的變化。此外,易於連接和用戶友好的軟件界面使您能夠輕松與其他系統集成並利用收集到的數據。