二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #139951 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 139951
晶圓大小: 4" - 8"
優質的: 1996
Inspection system, 4" - 8"
Specifications:
Sensitivity:
0.09 ㎛ at > 80% Capture rate
( latex spheres on bare silicon )
Throughput: 100 wph ( 200mm wafers ) at 0.12㎛
Repeatability: Within 0.5% δ ( Mean count >500, 0.364㎛ diameter latex spheres
Illumination:
Source: 30mW Argon-Ion Laser, 488nm
Sample Sizes : 100mm to 200mm ( smaller sizes upon request ) round or square samples
Configuration:
Wafer Size: 100mm ~ 200 mm
Power: 208V, 17A, 1Phase,60Hz
Main Frame:
CRT Monitor
Keypad
Mouse
FDD
Cassette plate
System Controller Card Cadge
. Slot 1 Video Card
. Slot 2 N/A
. Slot 3 CPU Board
. Slot 4 Timing Generator Board
. Slot 5 Haze Separator Board
. Slot 6 Particle Area Processor Board
. Slot 7 N/A
. Slot 8 GPIO Board
. Slot 9 Motor Controller Board
. Slot 10 SECS Board
. Slot 11 Ethernet Card
. Slot 12 N/A
. Slot 13 N/A
HDD ( -2-EA )
Laser Power Supply
Uniphase Laser ( 2214-30SLT )
Mainn Cucirt Breaker
Cassette Plate
Currently stored in a warehouse
1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種自動化晶片測試和計量設備，旨在實現半導體晶片的更快、更可靠的處理。具有測量大範圍晶片參數的能力，包括表面和地下膜厚度、平整度、表面紋理、峰谷、表面反射率和存在缺陷。該系統能夠利用三維、低強度的光感應頭每小時測量多達20個晶圓。KLA 6220 Surfscan單元采用耐用、耐腐蝕的外殼,設計用於可靠地處理最具挑戰性的測量。機器的結構是模塊化的，提供了根據用戶需要配置的靈活性。它還具有高級硬件和軟件組件,以確保高精度測量。該工具通過短間距幹涉的光學原理運行，其中激光光束的真空產生的幹涉探測晶圓的地下層，然後反射回光電探測器進行分析。這不僅測量表面和地下薄膜厚度，精度高達5 nm，而且還檢查缺陷，包括晶片表面以下的缺陷。資產的圖形用戶界面（GUI）是直觀的,它為用戶提供了實時測量的一系列指標。然後可以將這些信息用作反饋,以便對晶圓制造過程的參數設置和性能做出明智的決策。TENCOR 6220 Surfscan是一種自動化、健壯的晶圓測試和計量模型,適用於一系列生產環境。它旨在通過同時提供更快、更可靠、更準確的多個晶片測試來減少工藝時間並提高產品質量。因此,對於那些尋求高效、可靠和經濟高效的晶圓測試解決方案的人來說,它是一個理想的解決方案。
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