二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #158592 待售
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已售出
ID: 158592
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Non-patterned wafer inspection system, 8"
Can accommodate wafers from diameter, 2"-8"
Sensitivity-particle: 117 Micro-meter diameter
Latex spheres with >90% capture rate
Haze: 1 ppm Minimum
Cassette to cassette handling
Defect sensitivity: 0.09 um dia
PSL Sphere equivalent with greater than 80% capture rate
Haze:
Sensitivity: 0.02 ppm Minimum
Resolution: 0.002 ppm
Repeatability: Count repeatability error less than 0.5 percent at 1 standard deviation
Throughput: 100 WPH (200 mm) at 0.12 um
Contamination: Less than 0.005 particles/cm² greater than 0.15 mm dia per single pass
Illumination source: 30mW
Cassette handling:
Single puck wafer handling from two cassettes (One sender / Receiver, one receiver)
Electrical requirements: 200-240V, 50/60 Hz, 2 kVA
1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款下一代晶圓測試和計量設備,旨在支持半導體行業對精確、可靠、可重復計量的日益增長的需求。KLA 6220 Surfscan的圓滑設計允許大規模的晶圓處理和高水平的吞吐量,而減少零件、組件和服務的數量則需要支持削減成本和提高效率的最終目標。TENCOR 6220 Surfscan搭載雙軸光學系統和超精密運動舞臺,提供高度空間分辨率的晶圓表面動態實時成像。該單元包括一個直觀、可自定義的觸摸用戶界面,以及一個完整的自動分析算法庫,以確保測量結果準確且可重復。為適應各種要求,6220 Surfscan可以以高精度和精確度處理各種測試、計量和成像任務。計量機可以通過一次掃描來測量多層或不同的材料,以及使用高級傅立葉變換剖面圖(FT-PROF)在晶圓表面上收集3D信息。此外,KLA/TENCOR 6220 Surfscan還配備了集成校準工具,以及一套全面的計量工具,能夠對晶圓上幾乎所有表面進行高度精確的全面表征和分析。KLA 6220 Surfscan旨在提供必要的性能來表征和測量復雜曲面、半導體器件和其他微電子元件。資產包括晶片加載模塊,以及高精度運動階段,允許晶片表面的精確和可重復掃描。該軟件包提供高級圖像采集、圖像處理和分析功能,同時支持各種應用程序,如組件和設備特性、故障分析以及特征分辨率。該模型能夠在一次掃描中精確測量多層或不同材料,並執行高級成像任務(如特征識別和分析),以減少耗時的手動檢查並最大化生產率。綜上所述,TENCOR 6220 Surfscan是一款功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量設備,它提供卓越的性能,能夠在一次掃描中準確可靠地測量微電子元件和表面的特征。6220 Surfscan直觀的用戶界面和精確的運動階段提供了高水平的吞吐量和靈活性,而高級成像和分析功能確保了可靠、可重復和準確的結果。
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