二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #188564 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan Wafer Testing and Metrology設備是一種高度先進和精密的工具，專門設計用於測量和檢查晶片和其他設備的地形。它使用幹涉測量法以極高的精度和精確度來測量表面的高度。它可用於各種應用，包括半導體器件和晶片上表面的表征、新材料的勘探以及制造工藝的指令驗證和比較。KLA 6220 Surfscan系統能夠以極高的精度和精確度測量極小的特性。它使用傾斜校正幹涉儀和數字自動對準器來創建掃描表面的幹涉圖樣，然後用來精確測量精確的高度。它有四種傾斜補償測量配置，以解釋樣品表面地形的變化。該裝置具備高速掃描能力，每秒可取樣12,000個橫截面數據點，這對於確保清晰準確的測量結果至關重要。這臺機器還可用於分析不同類型的特征和表面，如導電膜、塗層、磨損特征、磨損表面輪廓和厚度變化。此外，該工具能夠測量；10nm以下的特征尺寸、螺距運動、非接觸測量以及對溫度、振動和氣壓的環境免疫力。它還具有一個自動對焦向導,它可以自動調整任何給定表面的資產焦點,甚至可以檢測樣品表面上是否存在汙染物。TENCOR 6220 Surfscan還具有易於使用的圖形用戶界面,可幫助瀏覽模型並允許用戶根據自己的特定需求自定義測量結果。作為額外的獎勵，這款設備內置了熱力管理系統，可主動監控內部溫度並優化機組性能。這一點很重要，因為它能確保機器產生精確可靠的結果。總體而言,6220 Surfscan是一種功能強大且復雜的晶圓測試和計量工具,非常適合需要對高度詳細的物理表面輪廓進行可靠和準確測量的應用。從檢查和分析晶片表面到精確測量磨損特征和薄膜,此資產能夠輕松執行各種復雜和詳細的測量。