二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #293602408 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是最先進的晶圓測試和計量設備。它設計用於缺陷審查、光刻/蝕刻監測、薄膜測量和叠加檢查等廣泛的應用。該系統配備了最新的運動和成像系統，使其能夠達到高精度和準確度。KLA 6220 Surfscan具有高速6軸掃描平臺，是用於超精確晶片級運動的四級DSP控制。它的高速掃描和廣泛的運動能力提供了卓越的高度可重復掃描，允許更好的產量驗證。該單元包含KLA高級成像功能,包括選擇高分辨率彩色相機,每臺相機都有自己的視場。該機器能夠以0.25微米的CD精度檢測高達6 ″ 10毫升的二極管，並能檢測到缺陷大小和形狀異常，低至2微米。該工具還支持高分辨率激光束偏轉和掃描線輪廓分析,分辨率達到驚人μ 20米。該資產集成了主動區域掃描（AAS）以顯示高分辨率收益數據、雙陣列和3D缺陷信息,並具有自動光學檢查（AOI）的擴展功能。它還包括前沿衍射（Leading Edge Diffraction）、化學識別和成像、無成像化學識別（CIWI）以及關鍵CD和3D條形結構關鍵特征的計量功能。TENCOR 6220 Surfscan型號是模塊化的,用戶可以配置,以實現靈活性和改進流程一致性。它具有多種適應性強的硬件和軟件選項,如平板顯示器、自動環境控制、SPC開放式體系結構、定制解決方案和數據分析解決方案。6220 Surfscan旨在幫助改進過程控制,並檢查各種半導體尺寸、缺陷級別和過程參數。保持芯片質量和延長設備生命周期是一種可靠、經濟高效的方法。