二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9003557 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是最新版本的晶圓測試和計量設備，設計用於檢查半導體晶圓的表面。該系統使用快速、高分辨率的成像和測量單元檢測缺陷，確保均勻性，並測量關鍵特征參數。該機器采用了現有的計量設備，增加了一些功能，以提高可靠性和降低成本，同時保持高精度。該成像工具利用三維（3D）成像的最新進展，以亮場和暗場模式捕捉晶圓表面的快速、詳細圖像。它還使用精確的測量來識別缺陷，公差優於一納米。該資產還提供自動校準和對準，以確保晶圓在測量表面特征時保持對齊和穩定。它還提供了一系列可調參數，允許用戶針對各種應用優化成像和測量功能。該模型還提供復雜的軟件和交互式功能,使用戶能夠自定義測試過程。控制程序允許用戶預設曝光時間、光學濾鏡和focusMode，以獲得理想的測量結果。用戶還可以對圖像進行分析，以識別特定的缺陷，如劃痕、投球和打滑縫線。此外,Surfscan 6220還包括一個用於手動非接觸式分析的特殊軟件模塊,該模塊可自動處理可視或電子表格格式的結果。模塊還包括一個高密度缺陷映射功能，它允許用戶快速識別晶圓上的缺陷特征並確定其大小。KLA 6220 Surfscan采用最新技術進行設計,以確保晶圓制造過程產生精確、可靠的結果。其先進的成像和測量功能、交互式功能以及精密的軟件使其在競爭中處於領先地位。