二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9052288 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種自動化的非接觸式光學工具，用於晶圓測試和計量。該設備將其前身6200 Surfscan采用的經過驗證的光學技術與先進的圖像處理算法相結合，以提供對表面地形的高精度測量。這包括測量曲面輪廓參數,如曲面粗糙度、步長和間隙高度以及錐角。KLA 6220 Surfscan配備激光剖面儀、四軸電動晶片級和自動顯微鏡，由CCD相機供電。當系統用於臨界尺寸計量時，剖面儀用激光掃描晶片表面以測量其輪廓。顯微鏡和電動級穿過晶片以捕捉晶片的3D形狀。然後使用這些數據來測量設備的臨界尺寸並識別其表面的任何粒子或地形缺陷。TENCOR 6220 Surfscan具有許多功能,使其成為晶圓測試和計量的寶貴工具。它有一個自動化的過程，可以同時進行大型晶圓和設備分析。它有一個強大的圖像處理單元，它具有可為不同類型的檢查作業定制的工作流。該機還具有漂移掃描算法，該算法可自動補償可能影響測量精度的振動和溫度變化。該工具可用於各種晶圓測試和計量應用，如缺陷檢測和分析、晶圓臨界尺寸（WCD）測量和晶圓地形測量。6220 Surfscan資產可以在各種晶圓和晶圓材料上檢測到大小從幾納米到幾微米不等的粒子。它非常適合測量MEMS和其他納米電子器件的臨界尺寸。KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種功能強大、用途廣泛的晶圓測試和計量模型。它結合了高精度光學測量技術、先進的圖像處理算法和自動化過程，使其成為各種晶圓測試和計量應用的理想工具。它能夠精確測量各種晶片和材料類型上的表面輪廓參數和檢測顆粒缺陷，是制造納米電子器件不可或缺的工具。