二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9070113 待售

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ID: 9070113
Wafer inspection systems.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種最先進的晶片測試和計量設備,能夠穩定、快速地檢測和測量各種半導體晶片。其組件包括一個光源、兩個照相機、一個計算機系統和一個可變壓力頭。該裝置旨在以驚人的精確度識別納米尺寸的汙染顆粒和缺陷,從而洞悉晶圓的均勻性和質量。KLA 6220 Surfscan利用大功率光源照亮晶圓,並顯示表面二維圖像供檢查。然後機器利用兩個高分辨率相機和精密的光學器件來掃描晶圓。這使計算機工具能夠分析和創建晶圓的地圖,突出顯示其地形。該資產允許用戶選擇感興趣的區域進行表面剖析和測量;有關這些區域的數據可以在計算機顯示屏上實時查看。該模型還具有可變壓頭,用於在成像之前提供樣品表面和光學器件之間的均勻接觸。這使得TENCOR 6220 Surfscan可以檢測快速變化的地形特征,同時補償和分解樣品、照明和檢測器響應方面的差異。6220 Surfscan能夠測量幾個關鍵參數,例如平均粗糙度、表面積和坡度。該設備還能夠一次進行多次檢查,顯著減少了在檢查過程中花費的時間。它的用戶界面專為易於使用而設計,使用戶能夠快速輕松地查找和識別故障。總之,KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一個包羅萬象的晶片測試和計量系統,能夠全面洞察晶片的特性,包括其地形、各種參數和均勻性。它的重型設計和先進的特點使其成為半導體晶圓檢驗和測量的寶貴而高效的工具。
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