二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9110913 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是半導體制造工業中使用的一種最先進的晶圓測試和計量設備。6220使用高分辨率光學顯微鏡和幹涉測量技術來檢測、分析和評估半導體晶片表面的缺陷。它是Surfscan系列中的最新產品,提供最先進的缺陷檢測和分類功能,使其成為過程優化和質量控制的理想工具。6220采用高度靈敏、精密的光學顯微鏡，允許對晶圓上的表面特征進行高分辨率成像。此外,還采用波長掃描幹涉測量（WSI）來測量表面高度和梯度。集成系統采用多模計量，提供同步WSI、矢量掃描幹涉測量（VSI）和圖像減法分析。WSI檢測到最微妙的表面地形特征,而VSI對地形執行更詳細的3D測量。最後，圖像減法評估晶片上的不同層，比較每層沈積後的兩個晶片。6220的高級軟件使用戶能夠準確定位和識別隨機分布的缺陷，評估每個晶片的表面粗糙度，並根據行業標準配置文件對缺陷進行分類。它還支持自動執行檢測和分類過程的功能。該單元能夠提供從0.2nm到20nm的各種測量分辨率,從而提供極其精確的分析結果。此外,緊湊的模塊化KLA 6220還具有直接掃描和成像功能,可實現廣泛的非接觸式探針配置和測量。其自動雙級晶片平移機保證了精確的定位和舞臺控制，具有很高的可重復性。該工具還提供了更大的動態範圍、更長的電池壽命、更大的晶圓容量以及改進的熱管理資產,從而實現了更好的性能和準確性。總而言之,KLA 6220 Surfscan是高級流程優化和質量控制的理想工具。它提供了高級缺陷檢測和分類功能,支持廣泛的測量分辨率,提供精確、準確的結果。加上其緊湊的設計、模塊化和較長的電池壽命，Surfscan 6220是半導體器件生產和研究的理想選擇。