二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9115142 待售
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已售出
ID: 9115142
晶圓大小: 4"-8"
Unpatterned surface inspection system, 4"-8"
SMIF
Substrates: 4"-8"
Automatic wafer handler
Sensitivity most surfaces: 0.20µm @ 95%
Polished surfaces: 0.10µm @ 95%
Capture rate: 0.12µm Defect sensitivity on bare silicon
Repeatability: < 1.0%
Standard deviation
Contamination:
Less than 0.005 particles
Greater than 0.15µm
Includes:
SP1/TBI: 4 Station, single open cassette, DFIMS
SP1/DLS: 4 Station, single open cassette, DFIMS
SP2 and SP2/XP: DFIM, 12"
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map and histogram with zoom
Illumination source: 30 mW
Argon-Ion laser
Wavelength: 488 nm
2D Signal integration
Spatial resolution: 50µm
Non-contaminating robotic handler
Random access sender / receiver unit.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體制造過程中的質量保證。憑借其先進的技術,Surfscan提供了確保過程控制和產品質量的功能。高效的Surfscan系統支持快速無損測試,實時顯示結果以確保更好的過程控制。該設備具有可配置的集成電子束測量功能,可提供高精度形狀和關鍵尺寸測量,使用戶能夠驗證過程控制。Surfscan具有直觀的圖形用戶界面,使用戶能夠快速輕松地設置測試作業並將其存儲以備將來使用。圖形機器高度可定制,確保用戶最大程度地適應其獨特的流程。Surfscan還提供高吞吐量性能,其高性能晶片到晶片吞吐量減少了手動加載的需要。該工具可以處理直徑達八英寸、厚度達兩微米的晶片，也兼容KLA專利的超平滑檢測技術。此外,該資產還具有高級統計過程控制功能,允許用戶在出現重大過程問題之前分析關鍵過程變量並檢測潛在的失控情況。KLA 6220 Surfscan是一款功能強大且可靠的機型,提供高精度、出色的靈活性和易用性。它具有可靠可靠的產品特性，是半導體制造工藝質量保證的理想解決方案。
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