二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9137178 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，用於無損缺陷檢測和表征表面地形。它專為300毫米晶圓而設計，可以並行檢查多個晶圓。該系統能夠測量極低和極高的表面高度。它快速、可靠、準確,非常適合質量保證和過程開發應用。該單元的核心是KLA專有的BIB（Burst Illumination Brightfield）技術。當需要有用的數據時,它使用一組微小的LED來發出穿透樣品晶片的光脈沖。然後可以在晶片表面上的每個點精確測量散射強度。其結果是一個令人難以置信的分辨率水平，比以前的檢查系統大幾倍。6220機配備了眾多其他功能以增強功能性。它有兩個數碼相機，提供掃描晶片的視覺圖像。它還具有雙軸晶片級，可以精確定位晶片在多達九個不同的方向進行復雜的測量。各種測量的許多類型的自動化例程都可以在工具中編程和執行。為了實現快速晶片對晶片和模具對晶片的比較，資產支持幾種圖像分析算法，如BIS映射、粒子密度測量和子像素缺陷分類。這些圖像分析算法能夠在單個測量中自動測量或比較來自多個模具位置的數據。總體而言，KLA 6220 Surfscan是一種可靠而強大的晶圓測試和計量模型，適用於各種晶圓加工和計量應用，如產量和工藝增強。它具有多種先進的特點，是半導體工業質量保證和工藝發展的重要工具。