二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9149402 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於提供半導體晶圓的高分辨率表面分析。該系統的尺寸範圍可達200毫米，是測試、表征和了解半導體晶片結構的通用工具。KLA 6220 Surfscan的核心是一臺先進的自動熒光顯微鏡，為半導體晶圓的表面地形視圖提供高分辨率光學成像。它能夠測量低於微米級的特征，分辨率優於1um。此外，該設備還配備了二維正交掃描機，有助於精確測量和表征表面特征和計量。6220由光學和控制器兩個主要組件組成。光學元件是允許個人捕獲晶圓圖像的主要組件。它包括表層熒光顯微鏡、物鏡、透鏡、分束鏡、樣品聚焦臺、熒光濾光片等成分。光學器件能夠測量和分析從低於1微米水平到大於10微米水平的特征。控制器是控制顯微鏡功能的工具的次要組件。它包括用於分析和表征晶圓特性的軟件，以及數據采集子系統。該軟件具有先進的圖像處理算法，能夠輕松地識別和分析表面特征。此外,它還提供各種控制,如自動對比度和亮度設置,以及手動圖像叠加功能。此外，它還包括一個全面的板載診斷程序。TENCOR 6220 Surfscan是那些需要對半導體晶片進行可靠和精確的表面分析的人的理想工具。它允許用戶在其快速直觀的軟件的支持下,在粒度級別上觀察、測量和表征特征。歸根結底，這一資產使用戶能夠快速準確地研究半導體晶圓的結構，從而使工藝和產品產量得到更大的優化。