二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9158312 待售

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ID: 9158312
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
Particle inspection system, 8" Missing scan motor 2006 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款最先進的晶圓測試和計量設備,結合了高通量數據采集、圖像形成和自動化分析,快速評估半導體晶圓的質量。該系統經過專門設計,可以消除生產線中的猜測,釋放資源和資源,以便在設計和產品開發上花費更多的時間。Surfscan 6220具有自動前端加載(FRL)硬件,這是生產線的寶貴資產。這樣,設備就可以單槍匹馬識別和加載晶片,並可以快速定向晶片進行成像和測試。這樣就可以將晶片以高達每秒12的速度送入機器,從而實現大量增加的吞吐量。Surfscan 6220上的圖像形成是通過獲得專利的微波成像工具完成的。利用這一點,資產可以獲取晶圓的地形,並以高達1.5微米的核心分辨率產生實時圖像。這使得在生產過程中很容易發現表面可能忽略的微小缺陷。Surfscan 6220還具有專門為使用半導體晶圓而設計的先進計量功能。這些包括平坦度、經度、高度、臨界尺寸、蝕刻深度等,所有這些都可以實時精確測量和監控。這使得模型幾乎可以立即檢測到生產線中的工藝變化或異常,從而可以顯著改善生產結果。此外,Surfscan 6220還配備了功能強大的分析軟件,使數據的硬分析和解釋變得更加簡單和快速。此功能可以根據設備輸出的數據做出即時決策,從而確保準確而及時的決策。總體而言,KLA 6220 Surfscan是半導體晶片測試和計量的寶貴工具,其強大的自動化和數據采集功能可大大節省時間,提高晶片精度。該系統對於任何一條現代生產線都是無價的,並且一定有助於簡化操作和提高晶圓質量。
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