二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9160480 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種用於測量半導體工業晶片地形的關鍵尺寸計量設備。它是一個全自動、多傳感器晶圓測試和計量系統，使用多個傳感器來創建晶圓表面形態的高分辨率三維（3D）圖像。該裝置采用了測量臨界接觸角的高分辨率散射儀，以及兩個帶有嵌入式激光和彩色傳感器的專利掃描頭，它們產生晶圓表面的圖像，其垂直分辨率高達10 nm，橫向分辨率高達5 nm。6M和10M傳感器的活動掃描長度可達600 mm,而4M傳感器的活動掃描長度可達400 mm。KLA 6220 Surfscan還具有高速、低噪聲的電子設備,使其能夠在0.9秒內獲得高質量的數據。該機器集成了一個直觀的用戶界面，提供全面的流程控制，允許用戶輕松設置和監控復雜的食譜。它還包含高級分析和自動化過程控制功能,能夠快速準確地診斷缺陷,以及自動糾正和減少缺陷的操作。該工具能夠同時分析晶片的頂部和底部表面,為用戶提供詳細的表面地形視圖。TENCOR 6220 Surfscan是一款經濟高效的解決方案，提供滿足半導體行業需求所需的精確度和可靠性。它在生產和研發環境中提供通用、準確和可靠的晶圓表面測試和計量,是任何先進半導體制造和開發業務的寶貴資產。