二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9168251 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款功能強大的晶圓測試和計量設備，旨在滿足半導體和光電器件制造商的需求。它是一個高速晶圓分析系統，提供了一套全面的物理和光學計量能力。該裝置的分辨率高達5納米，非常適合測量納米級結構和裝置特性。它提供了一系列光學表征功能,包括一臺專用的焦點變化（FV）測量機,可用於表征表面結構的深度。該工具利用精密級掃描資產精確測量納米級結構和特征。此模型能夠掃描直徑最大為8英寸（200毫米）的晶片。高精度的納米處理設備提供高達1納米的分辨率，系統可以測量各種與設備性能和可靠性相關的粗糙度參數。KLA 6220 Surfscan還提供了一套高級自動化表面計量功能。該單元使用直觀的圖形用戶界面（GUI）快速輕松地生成高度詳細的曲面輪廓結果。該機器提供多種掃描模式和自動特征提取，可用於提取復雜結構和特征的特征。然後可以將這些功能與用戶定義的參考標準進行比較,以確定一致性。TENCOR 6220 Surfscan還提供多種關鍵缺陷檢測功能。該工具能夠檢測各種類型的表面缺陷,如陣列故障、汙染、劃痕、顛簸、凹痕和裂紋。資產自動檢測、測量和分類缺陷,性能優於手動檢查。6220 Surfscan還配備了一套令人印象深刻的分析選項。它提供了多種參數化和表征功能,包括曲面輪廓比較和圖像分析。該模型還包括用於生成綜合數據報告和以圖形方式顯示曲面結構數據的軟件工具。KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款用途廣泛、功能強大的晶圓測試和計量設備,提供多種功能和功能。它提供了非常高的測量精度和廣泛的高級功能,使其成為設備制造商的絕佳選擇,他們需要對其產品進行可靠和精確的表面計量。