二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9185202 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供全面、自動化的表面分析和產量改進。精確測量表面參數，如反射、散射、應力、地形和汙染。它具有300毫米模塊和多達7個檢測通道,非常適合在各種半導體生產應用中提高產量。該系統由一個XY級的單束單元和一個XY級和一個平面掃描儀的多束機組成,XY級的單束單元可以在X和Y方向上移動樣品。單束和多束系統可用於各種應用，從簡單的晶圓表面檢測到復雜的晶圓後端過程跟蹤。多光束工具可以提供關於反射、散射、應力等一系列表面參數的快速、準確的數據，而單光束資產則提供了更詳細、分辨率增強的表面顯微成像。該模型建立在經過驗證的掃描電子和光學,結合先進的信號處理軟件.信號處理軟件功能強大且可靠，允許收集高度詳細的表面特性、精確的圖像分析和精密的數據比較。該設備提供了幾種光束轉向和照明系統，可用於精確分析和測量地形、散射、反射率、粒子汙染和應力等參數。所有的橫梁轉向參數都是完全可調的，可以儲存，以備將來參考。KLA 6220 Surfscan是一個可靠可靠的系統，可以幫助提高工藝產量和提高模式保真度。憑借其先進的信號處理軟件、高速度和精確度,以及卓越的成像能力,它無疑將成為半導體生產應用過程控制和產量改進中不可或缺的工具。