二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9189779 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款最先進的晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓的檢測。它結合了一系列先進的檢測、測量、成像和分析技術，為用戶提供了前所未有的晶圓檢測精度和精確度。該系統由幾個核心組件組成，包括高分辨率CCD攝像機組件、自動化樣品加載單元、成像激光器、CCD設備和自動化計量頭。這些組件中的每一個都經過了精確的設計和設計,以協調一致的方式為用戶提供卓越的性能。CCD相機組件利用一對高分辨率相機，以極高的細節和精確度捕捉晶圓表面的圖像。它結合了精密光學、先進的軟件算法和CCD設備來捕獲分辨率高達2微米的圖像。然後將圖像傳送到板載計算機進行進一步處理。自動化的樣品裝載機可以快速可靠地裝卸晶片。該工具包括一個在腔室上方延伸的探針臂，以及一個最多可容納兩個晶片的樣品裝載板。使用雙級執行器使探頭臂在腔室中來回移動，並包括一個自動樣品架，用於精確的樣品定位。該成像激光器用於生成晶圓表面的高分辨率圖像池。它由LED源、激光掃描儀和主板級相機組成，提供高達0.1微米的無與倫比的成像分辨率。這些圖像用於制作晶圓表面的詳細輪廓和表面圖，在晶圓測試和計量方面提供了前所未有的精確度。CCD器件用於測量晶片表面在靜態點的參數，提供晶片表面條件的瞬時評估。CCD設備使用戶能夠準確檢測可能難以單獨通過成像發現的小缺陷,如劃痕、凹坑和其他功能。自動計量頭為用戶提供了一種自動測量晶片表面地形的方法，提供了對表面特征的即時評估。該器件快速準確地測量晶片表面的參數，能夠以極高的精度檢測任何表面的不規則性。KLA 6220 Surfscan晶片測試和計量資產是檢查和維護半導體晶片質量的有力工具。它是成像、計量和分析技術的強大組合,所有這些技術都經過設計和設計,可提供晶圓測試和計量的最高精度和精確度。使用此模型,用戶可以確保其晶片符合所需的質量和可靠性標準。