二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9195861 待售
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ID: 9195861
Wafer inspection system
Bare wafer surface defect inspection system
Thickness: SEMI Standard wafer
Material: Scatters less than 5 percent of Incident Light
Defect sensitivity:
PSL Sphere equivalent: 0.09 Micrometer diameter
With greater than 80 percent
Repeatability: Less than 0.5 percent at 1 standard deviation
Accuracy: Better than 99 percent
Throughput: 100 wph at 0.12 mm
Contamination: Less than 0.005 particles / cm2 greater than 0.15 mm diameter
Cassettes handling: (2) Single puck wafer handling
Illumination source:
Argon-ion laser: 30 mW
Wavelength: 488 nm
Operator interface: Mouse / Keypad
Operations manual and documentation.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，結合了光學和電氣技術的力量，為晶圓檢測提供了全面而精確的方法。該系統旨在監測直徑從200毫米到450mm的各種尺寸晶片的工藝。該裝置有能力檢查範圍廣泛的晶圓材料，包括半導體、砷化氙和微機電系統（MEMS）。Surfscan旨在提供實時分辨率和自動測量的實驗室級精度。它利用420-1000nm範圍內的多光譜成像，加上雙光頭（光學剖面儀和顯微鏡對）測量晶圓地形。該機還配備了自動化步高測量、CD（臨界尺寸）測量、地形表征、線緣測量等專用軟件。Surfscan具有用於詳細缺陷測試的基於閾值的自動模具分類過程,能夠檢測顆粒、缺陷和其他不規則性。它還可以檢測光不連續之外的電不連續。該工具還具有預定義缺陷類型庫,使用戶能夠快速識別缺陷類型,然後應用自動糾正操作。資產還配備了靈活的缺陷分類，可應用於定制的場景和庫設置，以及閉環優化，以提高產量和吞吐量。Surfscan還設計了一套全面的計量工具和功能,其中包括高動態範圍（HDR）成像、3D計量和自動線路臨界尺寸（CD）映射。利用這些工具，用戶能夠以高精度和高速度測量晶圓的不同區域。此外,該模型還配備了一套報告工具,使用戶能夠快速查看和分析測試結果,並確定趨勢,以便為流程優化提供信息。該Surfscan是高度可配置的，可以適應各種晶圓和工藝類型。因此，該設備適合一系列晶圓測試需求，從故障分析到研發。Surfscan具有強大的技術規格和全面的計量和缺陷檢測功能,非常適合大批量制造和小批量實驗室操作。
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